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工艺原理：原料***经加压脱硫后与水蒸汽混合进入燃气加热式转化炉，该混合气在催化剂的作用下裂解重整，生成含有氢、二VO2、CO等组份的混合气，混合气再经回收热量、中温变换，将其中的CO进一步转化为氢气，后，混合气再通过PSA提纯得到纯氢、高纯氢，PSA解吸气则回收并引入转化炉和燃料***一起燃烧提供转化炉所需热量。目前国内所有LED外延片的生产企业使用的氢气都是由电解水制氢装置生产的氢气，成本较高。

化学反应式如下：

CH4 H2O→3H2 CO-Q

CO H2O→H2 CO2 Q

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技术特点：

1.本套装置结构紧凑，***设备采用PLC全自动控制，操作方便；

2.装置中对温度、压力以及流量进行多点监控，以确保装置安全稳定运行；

3.燃料上充分利用PSA解吸气，减少了燃烧原料气的耗量；

4.热，蒸汽自产自足，不需提供蒸汽源；

工艺原理：

原料煤（粉煤、块煤、无烟煤或褐煤）、蒸汽和氧气（纯氧或空气）在煤气发生炉内反应生成水煤气，水煤气经洗涤净化、电除尘、常压脱硫、压缩、变换、精脱硫，后经PSA提氢，可得到合格的氢气产品。

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718所产品体系中的部分气体制备及纯化设备由派瑞公司来设计、制造，如：***分解制氢设备、***裂解制氢设备、变压吸附制氢设备、变压吸附制氧设备、变压吸附制氮设备、氢（氧、氮）气纯化设备等。

派瑞公司以服务用户回报社会为生存的根本，以设计制造环保型、低耗型、可靠型的气体设备为目标，昂首迎接未来、迎接市场和客户的检阅。

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常温常压下，氢气是一种极易被点着的，无色透明、无臭无味且难溶于水的气体。

氢气是世界上已知的密度小的气体，氢气的密度只有空气的1/14，即在0 ℃时，一

个标准大气压下，氢气的密度为0.0899 g/L。所以氢气可作为飞艇、氢气球的填充气

体。氢气是相对分子质量特别小的物质，主要用作还原剂。

派瑞气体设备厂主要生产设备：***制氢设备、变压吸附制氢设备、PSA制氮设备、氢

气回收设备、制氧设备等。