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PSA制氮设备的工艺流程：空气经空气过滤器清除灰尘和机械杂质后进入空气压缩机，压缩至所需压力，经严格的除油、除水、除尘净化处理，输出洁净的压缩空气，目的是确保吸附塔内分子筛的使用寿命。

在PSA制氮设备中装有碳分子筛的吸附塔共有二个，一个塔工作时，另一个塔则减压脱附。洁净空气进入工作吸附塔，经过分子筛时氧、二氧化碳和水被其吸附，流至出口端的气体便是氮气及微量的氧。

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20世纪90年代是中国变压吸附制氧技术突飞猛进向前发展的时期，变压吸附制氧技术逐渐成熟，有些产品的综合技术经济指标已经接近国外较先的水平。在近十年内，通过不断地技术更新和研究开发，中国变压吸附制氧技术日新月异、发展迅速，与世界***水平之间的差距正在不断缩小。工业制氧设备的原理是利用空气分离技术，首先将空气以高密度压缩再利用空气中各成分的冷凝点的不同使之在一定的温度下做气液脱离，再进一步精馏而得．工业上的用氧一般是通过此物理方法得到的。

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我国高炉富氧鼓风所用氧气与炼钢所用氧气一样, 一般都由深冷空分制氧机生产, 氧气纯度在99%以上, 制氧电耗高，制氧工艺非常复杂，操作困难。当再次加压时，又可吸附氮气用于制取氧气，因此，***制氧机可实现周期性的循环制氧，是一个动态的过程。而且为满足炼钢用氧,高炉用氧得不到保证, 很大程度上制约了富氧喷煤技术的推广。若给高炉配备专用制氧机, 根据制氧纯度与电耗的关系见图(1), 用含氧80%~85%的低纯度氧气以及与高炉风压相匹配的氧压, 省掉制氧厂的氧气加压与高炉旁的减压系统, 可使氧气电耗由目前工业氧的0.5KWh/Nm3 降低到0.3KWh/Nm3, 有利于富氧喷煤效益的提高。